納米壓印技術(shù)可提升LED發(fā)光效率20-30%
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納米壓印是指經(jīng)過(guò)像蓋章一樣把刻著(zhù)精密圖畫(huà)的模具按壓到基板等的上面,很多轉印該圖畫(huà)的技能。近來(lái),該技能的實(shí)用化案例越來(lái)越多。
用R2R辦法量產(chǎn)LED用模具
選用納米壓印技能的精密圖畫(huà)構成技能有助于進(jìn)步LED和有機EL等的發(fā)光功率。東芝機械公司開(kāi)發(fā)出了包含專(zhuān)用的壓印裝置在內,將LED的發(fā)光功率進(jìn)步20~30%的技能。運用在藍寶石基板外表構成高低圖畫(huà)的“PSS”(Patterned Sapphire Substrate,圖形化藍寶石襯底),進(jìn)步了反射率等,然后進(jìn)步了發(fā)光輸出。
機械納米加工體系業(yè)務(wù)部副業(yè)務(wù)部長(cháng)后藤博史表明,存在的疑問(wèn)是怎么削減模具的缺點(diǎn)數量,以及怎么使本錢(qián)比運用現有步進(jìn)器構成圖畫(huà)時(shí)更具優(yōu)勢?!盎逵腥秉c(diǎn)的話(huà),LED就不會(huì )發(fā)光。而為下降本錢(qián)重復運用模具的話(huà),缺點(diǎn)就會(huì )越來(lái)越多”。
該公司針對這兩個(gè)疑問(wèn)采納的對策是,把運用R2R辦法很多復制的樹(shù)脂模具制成一次性產(chǎn)品?!鞍?英寸晶圓的本錢(qián)降到5美元以下的方針已有端倪”。樹(shù)脂模具還有一個(gè)長(cháng)處,那就是適合不一定平整的藍寶石基板。
完成高品質(zhì)GaN晶體
具體辦法是:首先在本來(lái)的GaN晶體上構成SiO2薄膜,運用納米壓印技能構成幾十個(gè)nm寬的小口;然后再次生長(cháng)GaN晶體。這樣,SiO2膜下方的GaN晶體的位錯就不會(huì )抵達上方的GaN晶體,由此能削減上方GaN晶體的位錯。早稻田大學(xué)的水野教授介紹說(shuō),“咱們試制了LED,承認該技能可進(jìn)步輸出功率并延伸壽數。大概也能用于功率半導體”。
水野表明,該技能還有望下降LED的驅動(dòng)電壓?!耙驗槲诲e少,曾經(jīng)有必要到達140μm厚度的GaN晶體可大幅減薄至21μm以下”。
文章由澳鐳照明電器整理發(fā)布,澳鐳照明官方網(wǎng)站:wap.fly8.com.cn